Microscopía Electrónica de Barrido
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Las imágenes de electrones secundarios son las más comunes en la microscopía electrónica de barrido. La interacción del haz primario con la muestra provoca la liberación de electrones secundarios en la superficie, los cuales son detectados y generan la imagen.
Los electrones retrodispersados son electrones del haz primario que se reflejan elásticamente por los átomos de la muestra. De este modo, la intensidad de la señal BSE está relacionada con el número atómico (Z) de la muestra. Las diferencias en el contraste de las imágenes se producen en función de las características composicionales de la muestra.
Se trata de una técnica analítica semicuantitativa que permite obtener información elemental de la muestra. Esta técnica se basa en la detección de los rayos X generados por la interacción del haz de electrones con la muestra. Cuando se acopla al SEM, permite obtener mapas elementales de la muestra.
La técnica EBSD es una técnica de difracción de electrones de la microscopía electrónica de barrido. Se basa en la captación de los electrones elastically retrodispersados de la muestra que han experimentado dispersión de Bragg. El patrón de EBSD resultante consiste en unas bandas, llamadas bandas de Kikuchi, que proporcionan información sobre la estructura cristalográfica y la orientación cristalina.